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サファイアとLED

 

LEDは、LEDサファイア基板フィルムを処理するための合成サファイア(単結晶アルミナ)を指します。人工サファイア(酸化アルミニウム単結晶)は、装飾に適用することができます(例えば、ジュエリー、テーブルガラス、など)、工業用窓材や半導体基板、サファイアは、特別な水晶、低転位密度を必要とするLED基板は、したがって、合成サファイアのハイエンド製品に属する

最初の低い窒化ガリウム(GaN)系エピタキシャルウェーハ、MOCVDエピタキシャル炉のプロセスの裏地で生産。プロセスの要件に従って、材料の源と高純度ガスの様々な必要なGaN系エピタキシャルウェーハを製造するための準備が徐々にエピタキシャル膜が良い仕事をする。一般的に使用される基板、サファイア、炭化ケイ素、シリコン基板と同様に、ZnOおよび他の材料のGaAs、AlNの、。 MOCVDのガス反応物(前駆体)と基質反応の表面にNH3の有機金属とⅤ群のIIIファミリを使用することで、所望の生成物は、基板表面上に堆積。コーティング組成物は、結晶同等の品質を制御するために、比の温度、圧力、反応物の濃度と種類を制御することによって。 MOCVDエピタキシャル炉はLEDエピタキシャルウェーハを製造するための最も一般的に使用される機器です。処理に続いて、二つの電極と電極加工のLEDのPN接合は、洗浄、蒸発、黄色、化学エッチング、溶断、研削を含むLEDチップの生産の重要なプロセスであり、その後LEDが生の映像、テスト、ダイシングソートするには、LEDチップを得ることができます。ウェーハ洗浄が十分にきれいにされていない場合は、蒸発システムが正常でない、金属層の堆積につながる(エッチング電極を参照)、変色、金電球やその他の異常の金属層の外観をオフになります。蒸発プロセスは時々、バネクリップに固定チップに必要とされる、それはクランプ符(目視検査で除算を選択する必要があります)が生成されます。開発が完了し、マスクしない穴を開けない場合はベーキング、フォトレジスト、カメラの露光、現像等を含む黄色の操作は、複数の金属の発光領域の残基が存在します。ウェーハのFEOL、システムチェンRuqing洗浄、蒸発、黄色、化学エッチング、溶断、研削およびその他の操作は、ピンセットや花籠、車両等を使用する必要がありますので、穀物の電極の傷が起こるのがあるでしょう。

 

 

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